X射線熒光光譜分析儀可以放出X射線對試樣進行照射，使試樣被激發出各種波長的熒光X射線，再將混合的X射線按波長分開，分別測量不同波長的X射線的強度，從而進行定性和定量分析。X射線熒光光譜分析儀對標準樣品的基本要求如下：

 

　　（1）組成標準樣品的元素種類與未知樣相似，是相同的；

 

　　（2）標準樣品中所有組分的含量必須已知；

 

　　（3）標準樣品中被測元素的含量范圍要包含未知樣中所有的被測元素；

 

　　（4）標準樣品的狀態（如粉末樣品的顆粒度、固體樣品的表面光潔度以及被測元素的化學態等）應和未知樣一致，或能夠經適當的方法處理成一致。

 

　　X射線熒光光譜分析儀使用的標準樣品可以向研制和經營標準樣品的機構購買，如果買不到合適的標準樣品，可以委托分析人員研制，但應考慮費用和時間的承受能力。